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真空規(guī)管有真空規(guī)和相對(duì)真空規(guī)，電容薄膜真空規(guī)為真空規(guī)，不管什么氣體對(duì)真空值都沒有影響。此規(guī)管用于刻蝕、CVD、PVD、ALD等半導(dǎo)體制造設(shè)備；數(shù)據(jù)貯存和顯示制造設(shè)備；工業(yè)真空設(shè)備；一般高精度壓強(qiáng)測(cè)量。根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì)，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測(cè)量?jī)x器兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法，具有較高的測(cè)量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空...

在真空鍍膜應(yīng)用中要用來一些氣體來輔助實(shí)現(xiàn)我們要的工藝，但流量的大小和如何來控制呢？這就是我們要告訴大家的。首先什么是質(zhì)量流量計(jì)（MFC）?質(zhì)量流量計(jì)，即MassFlowMeter（縮寫為MFM），是一種測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController（縮寫為MFC），不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系...

真空鍍膜上如何使用好晶振片：1）取用晶片時(shí)要求表面清潔，不能與手等異物接觸，造成表面污染，這樣的晶片會(huì)很快失效。2）鍍膜過程晶片的溫度要盡量穩(wěn)定，否則鍍膜不穩(wěn)，偏差大。3）每次換完晶片，探頭接觸面要保養(yǎng)，定期檢查接觸電阻，接觸電阻大會(huì)過早失效。

MKS產(chǎn)品起源于壓力測(cè)量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送,氣體和薄膜成分分析,靜電荷控制，工藝控制,信息管理,電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)。MKS流量計(jì)是以單位時(shí)間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測(cè)量?jī)x器。MKS薄膜真空計(jì)、MKS流量控制閥、MKS流量計(jì)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮?dú)?，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。如何選擇一款好的，適合工程用的MKS流量計(jì)則是人們當(dāng)下zui關(guān)心的問題，下...

羅茨真空泵是一種無內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡茫址Q機(jī)械增壓泵，其優(yōu)點(diǎn)是在較低的入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率，是目前獲得中、高真空的主要抽氣設(shè)備之一，其工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似，主要由一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的“8”字形轉(zhuǎn)子與兩個(gè)半圓形的泵腔組成。羅茨真空泵不能單獨(dú)排氣，必須與前級(jí)泵（如滑閥泵、旋片式真空泵、水環(huán)式真空泵、油環(huán)泵等）串聯(lián)使用，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到羅茨真空泵所能接受的壓力時(shí)才能開始工作，否則將會(huì)因過載和過熱而損壞。在前級(jí)泵進(jìn)氣口前面串聯(lián)上ZJ系列羅茨真空泵組成...

液體與蒸汽噴射泵、液環(huán)泵因其成本低，適用性廣而在工業(yè)流程中大量使用。但這些產(chǎn)品耗水、耗能巨大，并產(chǎn)生大量污染水，不能直接排放。干式螺桿真空機(jī)組雖然一次投資高于液體噴射或液環(huán)泵機(jī)組，但耗電常比后者低幾倍，耗水全無，自然也沒有成千上萬噸的污水，常年運(yùn)行經(jīng)濟(jì)效益顯著。在水源極度匱乏的中國(guó)，在當(dāng)今國(guó)內(nèi)外環(huán)保法規(guī)越來越嚴(yán)厲、排污成本越來越高的時(shí)代，在很多工藝適合的場(chǎng)合，不用水，用電省的干式螺桿泵正開始迅速替代傳統(tǒng)的真空泵，代表著高等級(jí)真空技術(shù)助力節(jié)能減排的發(fā)展方向。以螺桿型線老練程度和...

INFICON公司為客戶各種需要提供高質(zhì)量，低成本，與被測(cè)氣體無關(guān)的真空計(jì)。INFICON的規(guī)管有常溫條件下使用的CDG020D、CDG025D、CDG025D-X3三款。CDG020D的抗腐蝕性，任何方位可安裝，但量程跨度為2.5；CDG025D／S是zui常用經(jīng)濟(jì)的真空計(jì)，量程跨度4，CDG025D-X3為CDG025D的升級(jí)版；另外因使用溫度不同，對(duì)應(yīng)有CDG045D、CDG100D、CDG160D和CDG200D；如果使用環(huán)境要避免金屬污染的，我們還提供CDG025-...

INFICON公司有CDG電容膜片真空計(jì)、BPG400／BPG402-SB-A型皮拉尼真空計(jì)、HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)、BCG450B-A型皮拉尼電容膜片真空計(jì)、PSG500／PSG512-S皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)、PCG550／554皮拉尼電容膜片真空計(jì)、PEG100潘寧真空計(jì)、MPG400／401反磁控皮拉尼真空計(jì)和VGC401／403真空計(jì)控制器。如何來選擇呢？以下我們做具體的說明：一，皮拉尼真空計(jì)1.皮拉尼真空計(jì)原理加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度由于氣體粒...

長(zhǎng)期以來市場(chǎng)上使用的一般閘閥普遍存在著漏水或生銹現(xiàn)象，真空閘閥引進(jìn)歐洲高科技橡膠及閥門制造技術(shù)所生產(chǎn)的彈性座封閘閥，克服了一般閘閥密封不良，生銹等缺陷，彈性座封閘閥利用彈性閘板產(chǎn)生微量彈性變形的補(bǔ)償作用達(dá)到良好的密封效果，該閥具有開關(guān)輕巧、密封可靠、彈性記憶佳及使用壽命等顯著優(yōu)點(diǎn)?？蓮V泛用于自來水、污水、建筑、石油、化工、食品、醫(yī)藥、輕紡、電力、船舶、冶金、能源系統(tǒng)等體管線上作為調(diào)節(jié)和截流裝置使用。真空閘閥又稱閘板閥或閘門閥，應(yīng)用zui廣泛的一種閥門。真空閘閥由普通手動(dòng)閘閥改...

應(yīng)用一、氦質(zhì)譜檢漏儀用于電廠檢漏—冷凝罐及汽輪機(jī)管路檢漏應(yīng)用電廠使用氦質(zhì)譜檢漏儀主要是對(duì)汽輪機(jī)內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏，還有冷凝罐的檢漏，由于每一個(gè)環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會(huì)增加生產(chǎn)成本，所以電廠檢漏在實(shí)際生產(chǎn)中是非常重要的。電廠檢漏使用氦質(zhì)譜檢漏儀Sniffer模式，檢測(cè)方法為將吸槍放在真空泵排氣管路上，用氦氣噴在系統(tǒng)連接位置上，或者真空系統(tǒng)連接部位，噴一點(diǎn)后需要等一段時(shí)間，時(shí)間要看漏孔大小和真空泵的抽速而定（大約在十米遠(yuǎn)的距離噴漏點(diǎn)在五秒內(nèi)就有反應(yīng)）。此方法為國(guó)內(nèi)電廠檢漏廣泛采用的...

近年來，電容式薄膜真空計(jì)取得了重大進(jìn)展，新型的雙電容式薄膜真空計(jì)的問世，提高了該類真空計(jì)的精度，擴(kuò)展了測(cè)量范圍，使其測(cè)量下限可達(dá)lO-3Pa。根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì)，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測(cè)量?jī)x器兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補(bǔ)償法，具有較高的測(cè)量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。電容式薄膜規(guī)管的中間裝著一張金屬?gòu)?..

流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的，簡(jiǎn)稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí)，振動(dòng)管作往復(fù)周質(zhì)量流量計(jì)期振動(dòng)，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管，就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng)，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào)，這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。計(jì)算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量...