擁有一顆藍寶石的“玻璃心"

——安捷倫精密微調(diào)閥

安捷倫精密微調(diào)閥，用于精密控制微小的流量（或泄漏率），以調(diào)節(jié)系統(tǒng)真空度或滿足其它非常特殊的工藝需求。

安捷倫藍寶石密封精密微調(diào)閥最小可控制 1E-10 mbarl/s (std cc/s, sccs) 的微小流量，可用于壓力低至 1E-11 mbar 的超高真空環(huán)境，并且可以耐受高達 450℃ 的高溫烘烤。                         

該微調(diào)閥內(nèi)部有一塊具有光學(xué)級平面的藍寶石（Sapphire），和一套精密的位置調(diào)整機構(gòu)。位置調(diào)整機構(gòu)由一個精密細牙螺桿和一個高倍率杠桿機構(gòu)組成，該機構(gòu)的省力倍數(shù)高達13000:1，可以非常精密的調(diào)整藍寶石的平面和與其相配合的金屬墊片之間的距離，從而調(diào)整通過他們之間的流量，或者形成*無摩擦、無咬合和無斷裂的密封。

閥門內(nèi)部的藍寶石和與其相配合的金屬墊片之間緊密貼合之后，閥門就處于關(guān)閉狀態(tài)。已經(jīng)處于關(guān)閉狀態(tài)的閥門不可以再繼續(xù)擰緊，否則會造成螺紋或者藍寶石閥頭損壞。為了避免此類現(xiàn)象發(fā)生，閥門在出廠時已經(jīng)設(shè)置好了停止位置，即兩個圓螺母（NOBS）已經(jīng)鎖緊在調(diào)整螺桿（FINE DRIVE SCREW）的某一點上，使得閥門在關(guān)閉后無法再繼續(xù)擰緊。使用時請捏住兩個螺母一起轉(zhuǎn)動（順時針流量減小，逆時針流量增大），不要隨意將它們松開或調(diào)整位置。

若閥門使用一段時間后出現(xiàn)擰到最緊后仍然無法密封，或者想把停止位置設(shè)定為某一個固定的流量（漏率），可以參考使用說明書，并按照說明書中描述的步驟進行調(diào)整。

微調(diào)閥的調(diào)整螺紋為精密細牙螺紋，大力旋轉(zhuǎn)或者螺紋處潤滑不良時會造成螺紋損壞，請小心調(diào)整并定期涂抹附送的潤滑脂。該潤滑脂為可以耐受烘烤的高溫潤滑脂，請勿用其它潤滑脂替代。

當需要對關(guān)閉狀態(tài)的閥門進行烘烤時，有可能需要重新設(shè)置停止位置（請參見說明書“烘烤程序"一節(jié)）。

當微調(diào)閥的流量低于 1E-9 mbarl/s 時，可凝蒸氣和污染物有可能會堵塞閥內(nèi)的微小間隙。對此類應(yīng)用，微調(diào)閥必須在開啟狀態(tài)下真空烘烤至 250° 并保持30分鐘，以去除內(nèi)部吸收的可凝蒸氣。

對于 4E-10 mbarl/s 以及更低的流量，除上述烘烤外，通過微調(diào)閥的氣體必須不含可凝性蒸氣，或者通過干燥裝置（比如液氮冷阱）對進氣進行處理后再接入微調(diào)閥。分子篩捕集阱也可用于干燥氣體，但必須使用過濾器以確保沒有篩子顆粒進入微調(diào)閥。

環(huán)境溫度的變化會引起流量（泄漏率）的變化（溫度升高時，泄漏率增加），如果泄漏率的變化對您正在進行的實驗來說是不可接受的，就應(yīng)該使用一些溫度控制的手段——將閥門加熱并將其溫度維持在略高于最高室溫的某個值。

編者：深圳市科銳詩汀科技有限公司真空技術(shù)中心