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EXT556H EDWARDS復(fù)合渦輪分子泵BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)，以及壽命長(zhǎng)、小振動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導(dǎo)體應(yīng)用和科學(xué)應(yīng)用(這些領(lǐng)域可使用STP系列泵)以外的任何領(lǐng)域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)，以及壽命長(zhǎng)、小振動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

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